伺服电机抖动由机械结构、速度环、伺服系统的补偿板和伺服放大器、负载惯量、电气部分等故障引起。

1.机械结构引起的抖动可分为两种情况：

1）空载抖动：

a.电动机基础不牢、刚度不够或固定不紧。

b.风扇叶片损坏，破坏了转子的机械平衡。

c.机轴弯曲或有裂纹。可通过紧固螺钉、更换风扇叶片、更换机轴等办法解决。

2)如果加负载后抖动，一般是传动装置的故障引起，可判断以下部位存在缺陷：

a.胶带轮或联轴器转动不平衡。

b.联轴器中心线不一致，使电动机与所传动的机械轴线不重合。

c.传动胶带接头不平衡。可通过校正传动装置使之平衡等办法解决。

2.速度环问题引起的抖动：

速度环积分增益、速度环比例增益、加速度反馈增益等参数不当。增益越大，速度越大，惯性力越大，偏差越小，越易产生抖动。设定较小的增益可维持速度响应，不易产生抖动。

3.伺服系统的补偿板和伺服放大器故障引起的抖动：

电机运动中突然掉电停止，产生很大抖动，与伺服放大器BRK接线端子以及设定参数不当有关。可增加加减速时间常数，用PLC缓慢启动或停止电机使之不抖动。