绝大部分现有综合监控系统与上层生产调度和计划、质量管理、设备管理、安全管理、办公自动化等管理信息系统是分离的，或者仅有简单的从下向上的单向简单数据传输，无法与上层信息系统融合成为一个有机的统一体。按照发展新型工业和企业信息化的要求，自动化应该是集管理和控制于一体的，它包含低层的控制与高层次的管理的自动化。企业信息化对系统的自动化程度提出了更高的要求，它包含了从经营管理层、生产执行层、过程控制层直到现场设备层的全过程，涵盖了从传感器开始到整个系统优化运行的全部低层控制及高层管理。为保证整个控制过程中的所有有用的信息不沉淀和流失，便于实现实时协调，加强对上层决策的辅助支持，应建立全局化的概念，统一信息平台，克服“自动化孤岛”、“信息孤岛”现象，实现管控一体化的无缝集成。Lynarc Limited KLA-Tencor AGV0100KLA-Tencor 521-0201 KLA-Tencor 730-404395-00 KLA-Tencor 547247 KLA-Tencor 750-059211-001KLA Tencor 6020Applimotion 0040175-0000050787-000 KLA-Tencor | 0071215-000KLA-Tencor Picoammeter III, 720-06914-000KLA TENCOR ALIGN CHANNEL AIT 378283 / 341444 KLA TENCOR ALIGN CHANNEL AIT 378283 / 341444 / 515680KLA-Tencor 780-08045-001 8100XPKLA-Tencor 0068002-000APSKLA-Tencor 073-775012-00KLA, AIT, PSFDRIVER, BOARD, 0033799-000, 556661KLA-Tencor 720-23189-000 Tencor Instruments 165107 KLA Instruments 710-653699-20-00 KLA-Tencor 710-611725-002 KLA Instruments 710-653699-20KLA Instruments 710-653699-20-00