聚焦控制部分 聚焦控制部分控制电子束的准确度，在电子束发射电子数目一定的情况下，让尽量多的电子轰击到料棒上，提高电子的利用率。它主要通过上下移动聚焦环来获得**的位置，同时还保证与其它控制部分的联锁。
（4）真空及阀门控制部分 真空及阀门控制部分保证设备具有正常的真空工作环境，主要由各种真空泵、阀门等组成。PLC对真空系统的控制分手动和自动两种功能，手动时各种泵和阀门的开启完全由人工控制；自动时，PLC根据程序要求自动完成对设备的抽真空任务，判断泵、阀门、真空度状态的和联锁条件是否满足等。DUNKERMTREN PLG26 GEARBOX 47.022.026-00.07-15414139 MICRO/SYS ASSY, ANALOG GND ISOLATION, 344-61843, PCB SBC3386EX2136 WATKINS-JOHNSON PCB, T**86 INPUT CARD, PWB 910401-001 910402-00115882 LAM RESEARCH ACCESSORIES FOR MINI MATCH CLIPPARD-MINIMATIC 853-05902-001-E912 DRESSLER RF LC AUTO MATCHING NETWORK VM1500W-CG14760 APPLIED MATERIALS 5200 CVD WC WXZ GAS BOX, 0020-30511 0240-1420315435 MAXON MTR DC MTR W/ DUNKERMTREN PLG26 GEARBOX 47.022.026-00.07-15414139 MICRO/SYS ASSY, ANALOG GND ISOLATION, 344-61843, PCB SBC3386EX2136 WATKINS-JOHNSON PCB, T**86 INPUT CARD, PWB 910401-001 910402-001