​聚焦控制部分 聚焦控制部分控制电子束的准确度，在电子束发射电子数目一定的情况下，让尽量多的电子轰击到料棒上，提高电子的利用率。它主要通过上下移动聚焦环来获得**的位置，同时还保证与其它控制部分的联锁。

（4）真空及阀门控制部分 真空及阀门控制部分保证设备具有正常的真空工作环境，主要由各种真空泵、阀门等组成。PLC对真空系统的控制分手动和自动两种功能，手动时各种泵和阀门的开启完全由人工控制；自动时，PLC根据程序要求自动完成对设备的抽真空任务，判断泵、阀门、真空度状态的和联锁条件是否满足等。13524 LAM RESEARCH NOTCHED 8" ESC. J LA8PPA-T 718-094523-281

17633 SEIKO SEIKI PCB, H600 CONTROL CARD, 17-983T0020 P005Y008Z831-3S113891 PANASONIC AC MTR ASSY W/ MICRO-EXCHANGE AIR PUMP LVM-IO M41A3S2L520160 NOVELLUS PANEL, HOIST, FRAME, TRIM SIDE, 04-258739-01 17-250987-0014534 AZCO OZONE GENERATOR VMUS-219296 MKS KF40 PNEU BELLOWS ISO ANGLE VLV W/O HOUSING L2-40-AK-225-VNVNH