（1）初始化子程序 对本程序中要用到的寄存器、定时器和计数器清零，使设备处于初始状态。（2）高压控制子程序 控制高压条件的连锁、高压的启动、高压数值的给定、高压上升和下降的PID参数的设定、高压故障报警和急停等。（3）阴极控制子程序 控制阴极条件的连锁、阴极的启动、阴极电流的给定、阴极电流上升和下降的PID参数设定、阴极的故障报警和急停等。（4）聚焦控制子程序 控制聚焦连锁、聚焦环位移，当达到**聚焦电流时停止移动。（5）故障检测和报警子程序 完成对设备的检测，如有故障自动报警。（6）主程序 当处于自动状态的时候，PLC按照工艺的工作顺序启动循环水、启动各种真空泵和阀门抽真空，当达到真空度要求时，自动接通阴极电源并且逐渐加大阴极电流，自动接通高压电源，逐渐加大高压电压达到高压的设定值，然后开始聚焦，当熔炼完毕后按照相反的顺序进行。3255 APPLIED MATERIALS KIT, ELEC, PER HTESC PVE CHAMBER, ENDURA 0242-766111896 PROTEUS INDUSTRIES INC FLUID FLOW SWITCH 9100SSSPPI