本系统的网络采用分层分布式（RIO）结构，包括：操作管理级、生产控制级。
a.操作管理级：通过操作员站综合监视生产控制级的所有信息，进行操作、显示、记录、数据处理、报表输出，并且可以按一定权限进行逻辑编程及参数修改等操作。
b.生产控制级：通过控制单元所连接的检测和控制设备对通过控制单元所连接的检测和控制设备对生产设备实施控制，并通过Modbus Plus总线与操作管理级相连，接受操作管理信息并传递实施数据。ELLOWS PUMP FF-10BT220704 SEIKI SEIKO TURBOMOLECULAR PUMP CONTROL UNIT, AC120V, 50/60HZ SCU-STC-M19195 APPLIED MATERIALS BEARING ASSY ID: 22.57CM X 0190-1441419207 APPLIED MATERIALS BEARING ASSY ID: 22.57CM X X3270912785 APPLIED MATERIALS ASSY, OTF RECEIVER, 200MM BANK 0010-7676421244 NOVELLUS HOUSING,BRG,DP SPNDL,CVDW 15-109785-004998 APPLIED MATERIALS INSERT, PEDESTAL LIFT, PIB 0021-2588112141 FESTO FLAT CYLINDER, P/N: 161243 DZF-18-125-A-P-A22561 BALDOR PCB BTS 10 ASR SERIES SERVO DRV W/ 27224CR-001 BTS10-