(1) 电气控制系统、仪表控制系统和汁算机信息化系统采用网络连接，实现三者之间一体化，优化了数据的传统和共享。

(2) 电气控制和仪表控制采用相同的控制设备，编程和人机界面风格统一，降低了维护和备件成本，且挂在同一个网络上，实现了控制平台的统一，通汛方便，减少了通讯硬件接口，合理分担控制功能。

(3) 远程IO通讯控制站RX3i CPU320和远程PAC IO之间的通讯采用百兆以工业太网进行通讯，具有高速率，低延时和高可靠性等特点，保证了现场IO数据快速可靠地更新。

(4) 第三方设备通讯变频器和氧枪等设备现通过Profibus-DP和控制器进行通讯，极大地减少了设计工作量、电缆施工量等，提高系统的可靠性和维护方便性。

(5) 历史数据存储和生产管理系统数据接口PPS提供了带数据压缩功能的实时历史数据服务器，可以长时间存储工艺数据和操作事件，并且提供OPC接口方便实现和生产管理ERP系统的通讯。Ultratech Stepper 03-20-00778 

Nikon 4S013-368 

Semiconductor Process 9263227 

Delta Design 1906880-501 MBX RS232/RS485

Shinko Electric 3CL511A010100 

Force Computers 880-12535-101.A1

Aviza Technology 166759-002 

Karl Suss 10300090 

Setra 204100-50-NK 

TRY-10PD-16-DC 

NSR-S204B 

Nikon 2S701-009 NTP-NMC-T 

NSR-S205C 

AMAT Applied Materials 0020-26905 

Hitachi 571-7201

Fisher Berkeley B00111-06 

Unit Celerity UFC-8165 

Unit Instruments UFC-8165

Bio-Rad 3.5/0.06 

ACS Electronics SB91/P 

Lam Research 810-800082-029 

Ultrapointe 000134