条的质量取决于两点:一是主、辅牵伸电机以及条筒电机三者的同步性,另一点即是三者之间合理的速度比。三者之间的合理的速度比通过后述的控制策略获得。而三者的同步性依赖于硬件的快速响应和软件的合理性,硬件的特点在前面已述。
对于并条机而言,开环控制可以消除死区,但是对来自牵伸系统干扰的影响无能为力,系统的稳定性较弱;闭环控制可以抑制干扰的影响,系统有着较强的鲁棒性,但不能消除死区。
并条机的控制过程是一个非线性,动态变化的过程,容易受到外部干扰(牵伸波,噪声等),很难建立统一的数学、物理模型。因此,为了消除死区,降低干扰的影响,提高系统稳定性,本文采用短开环和长闭环的混合控制模式,如图6所示。
开环的目的是避免死区并获得控制基本量uo,闭环的目的是抑制干扰,得到控制校正量△uc修正控制基本量uoTylan FC-2952
COSMOS PS-2DPNS
MRC Materials Research A115105
ChemTec MAO-125-T-20
DIE01294A KBCPU9/A1
AMAT Applied Materials 0190-02748
14-15-05800 4700
MKS Instruments 100016886
Hitachi 3-833717
TEL Tokyo Electron AP9Z-2033A
Swagelok 6LV-DAFR4-P-BL-6820
TEL Tokyo Electron TKB7250
Lam Research 810-17012-001
ACT12
Tylan FC-2952
Swagelok 6LV-DAFR4-P-BL-6820
TEL Tokyo Electron D122081
JAE 4400-1100
TEL Tokyo Electron AP9Z-2033A
TEL Tokyo Electron TKB7250
Tylan General FC-2902M
AMAT Applied Materials 0021-20788
Aviza Technology 166759-002
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