D电路频率自动微调是专门为加速器高频D电路设计的，完成自动调谐的装置。

D电路由一个高频腔体构成，这个腔体是加速器的重要组成部分之一，加速器运行时，高频电压加在这个D电路上，用来实现对粒子的加速。D电路的示意图如图1所示，D电路的调谐是靠改变短路片的位置（粗调），细调是靠改变微调电容对D型盒的距离来实现。在正常运行中，只要高频机的频率固定，短路片的位置就固定了，但是由于各种因素的影响（包括热变型、机械震动等），D电路的参数是不稳定的。因此D电路就不能保持在谐振状态，且D电路的Q值很高（5.5Mhz时，可达8800），因此D电压将不稳定。所以要靠频率微调系统来实现D电路的自动调谐，以实现频率稳定。从而改善束流品质，满足实验对束流的要求-FEI Company 150-002720 

VAT 65048-PH52-ADU1

Keithey 9620-FMU 

8024-0139 

AMAT Applied Materials 0100-01884

XC-75 Kowa GFZ-2160 

AT-400A PCB 27-286643-00

Parker 71-023382-50

Tylan FC290MEP5 

AMAT Applied Materials 0020-78126 

Yaskawa SGDA-02A12A 

Nikon 4S013-733 IU-IFX6C-C NSR-S610C

SVG Silicon Valley Group 851-8300-005 

CKD N4S0-T50 

CKD N4S0-T30 

WJ Watkins-Johnson 905919-001 

Nikon 4S013-620-1

Pentagon Technologies 33-3054-58

AMAT Applied Materials 0200-02597 

Parker Model 4082

ISO40 

TAZMO E0R05-2661A

Swagelok 6LVD1V333P-AB-RR 

JEOL AP002100(00) 

TEL Tokyo Electron OYDK-059 

FSI International 914726-001