控制系统的硬件安装连接好以后，要使系统正常工作，还需要进行软件的安装调试。

2.1下位机参数设置

　　智能仪表1、智能仪表2地址通过仪表本身按键设置为4和5，波特率可设为9600 bit/s；3种数据模块可通过其驱动软件设地址分别为1，2，3，波特率都为9600 bit/s，并设为无校验。PLC1，PLC2的通信方式可通过其编程软件进行设置2台PLC的地址分别设为6和7。

2.2 组态软件的设置及功能

　　下位机各参数设置好后。还得在上位机上进行组态。

　　变量字典是世纪星组态软件的核心，相当于一个数据处理中心，同时也起到公用数据交换区的作用。从下位机设备采集的实时数据通过建立数据连接送入变量字典，系统其他部分操作的数据也来自变量字典。变量字典自动完成对实时数据的报警处理和存盘处理。同时，它还根据需要把有关信息以事件的方式发送给系统的其他部分，以便触发相关事件。进行实时处理，采用面向对象的技术为其他部分服务。提供了系统各个功能部件的数据共享。MeiVac 2460

Telemecanique LXM15LD21M3 

Kokusai APC A/2 PCB D1E01142B 

Ultratech Stepper 03-20-01588-02 

VFU-X80S Noise Filter NSR-S205C

Entegris BT12-12FN-1 

STEC SEC-4500M

Aera TC FC-D980C Mass Flow Controller MFC FC-D980C 

iGX6/100M Edwards NRB246458

Sti M**216E-1-AC1-U-10X-10R-ESD

TEL Tokyo Electron D3.0 **5.6

ASM 1017-118-01 

Varian 17128230 

Kensington Laboratories WAIST Robot Signal Cable 7.5 Foot ESI 9250

TEL Tokyo Electron 5037-000001-11 

WJ Watkins-Johnson 977177-001

Nikon 4S015-063 NK386SX 

ASML 4022.430.05300