气态污染物是指以气态的形式存在于烟气中的各种污染物，其中以SO2，NOX为主要监测对象，其中SO2 是形成“酸雨”的主要原因。

气态污染物分析系统是CEMS的关键部分。它包括采样探头、传输管、分析仪三部分。目前分析仪的采样、传输方法主要有三种:

一是稀释法。采样探头抽取烟气并除尘，然后用零气按一定稀释比稀释，将稀释后的烟气经传输管引入分析仪(零气是指不含水分和干扰杂质的干燥、洁净空气，一般稀释比为100-200倍)，分析仪测得的是湿基样品中的污染物浓度。图1 （见下页） 是稀释法取样时用的专用探头，稀释探头是稀释法的关键部件，准确的稀释比才能保证测量的准确性。

二是直接抽取法。样品到达分析仪之前，经除尘、冷却等处理，测得的是干基样品中的污染物浓度。图2 （见下页） 中是直接抽取法所用的取样探头，不需要稀释空气，前端带过滤器。我国的环保标准要求监测干烟气中的气态污染物浓度，即干基测量，因此我国大多采用直接抽取采样法。

三是直接测量法。将监测仪器直接安装在烟道上对烟气进行测量的方法，相当于烟道就是仪器的测量气室，不需要将烟气抽出来。由于目前分析仪还不能完全满足直接测量法连续监测的要求，使用寿命比较短，维修难度较大，其测量精度和长期可靠性还存在一些问题需要改进，所以直接测量法使用的数量并不多。TEL Tokyo Electron D3.0 **5.6 

ASM 1017-118-01 

Varian 17128230 

TEL Tokyo Electron 5037-000001-11 

ASML 4022.430.05300 

ATH Adixen ATH1603M 

Humphrey HTBDAK25X2

Scinics MC-301 

Tokyo Flow Meter EM-0100

SVG Silicon Valley Group 99-80295-01 

AMAT Applied Materials 0040-96305 DRP2 

MeiVac 2460

Telemecanique LXM15LD21M3 

Kokusai APC A/2 PCB D1E01142B 

Ultratech Stepper 03-20-01588-02 

VFU-X80S Noise Filter NSR-S205C

Entegris BT12-12FN-1 

STEC SEC-4500M

Aera TC FC-D980C Mass Flow Controller MFC FC-D980C 

iGX6/100M Edwards NRB246458

Sti M**216E-1-AC1-U-10X-10R-ESD