故障检查、分析：检查报警灯、程序、供电电源，在检查报警时，发现CPU上BAT灯亮起。检査程序时，发现没有对电池失效进行故障处理。故障处理：更换CPU电池，对电池失效故障在程序中进行相应处理。

②、某日晚，压缩机PLC与主控PLC通讯突然中断，主控DCS上显示压缩机PLC与主控PLC通讯中断报警，压缩机控制室里的电机信号在主控合成DCS上均显示红色（停止状态），压缩机控制室里的一些流量、压力、温度等信号，在主控合成DCS上均显示高低报警。由于通讯中断使压缩机控制室里一些重要联锁不能送到主控，从而使全厂停车

故障检查、分析：从理论上讲，引起压缩机PLC和主控PLC通讯中断的原因主要是两个：一个是软件不同步；另一个是由于硬件如CP525卡、CPU卡故障。

首先从软件方面进行处理。在主控PLC进行了同步操作，强制通讯数据字DW13的第14位，结果通讯仍然没有建立起来，看来不是主控PLC不同步引起的。接着在压缩机PLC对其进行了同步操作，强制通讯数据字MW10的第14位，结果通讯建立。从而确认这次压缩机的PLC与主控PLC通讯中断的原因是由于压缩机程序不同步引起的，造成程序不同步的原因是外界的电磁干扰11706 PALL TRINITY MICRO FILTER GLFF6000VMM6/8

9835 FORCE COMPUTERS PCB P/N:100611 SYS68K/CPU-6VB

15530 LAM RESEARCH CAP LOWER ELECTRODE 6" 715-011985-106-B

9060 APPLIED MATERIALS REFLECTOR HOUSING, BP AWS, XFER CHAMBER 0021-24891

9860 APPLIED MATERIALS HEATER JKT, 16V, 9W, ZONE 4, 200MM PROD 1410-00302

12159 SMC PARALLEL GRIPPER, LONG STROKE MHZL2-16S

R6 POLAROID SCANING ELECTRON 545I

13349 APPLIED MATERIALS ELECTROSTSTIC CHUCK, 0021-81383 0041-33300

8492 APPLIED MATERIALS PCB CHAMBER INTERCONNECT BOARD ASSY 0100-09099

11695 APPLIED MATERIALS POWER SUPPLY P1166A 0190-05660

12721 APPLIED MATERIALS ASSY, ELECT, SBC, SYNERGY 68040 CNTRL, V440 0090-76109

22462 BROOKS KIT SMALL WINDOW TRANS CHMBR UNDERNEATH 002-0567-01