要查接线、核对地址。要逐点进行，要确保正确无误。可不带电核对，那就是查线，较麻烦。也可带电查，加上信号后，看电控系统的动作情况是否符合设计的目的。

2）、检查模拟量输入输出。看输入输出模块是否正确，工作是否正常。必要时，还可用标准仪器检查输入输出的精度。

3）、检查与测试指示灯。控制面板上如有指示灯，应先对应指示灯的显示进行检查。一方面，查看灯坏了没有，另一方面检查逻辑关系是否正确。指示灯是反映系统工作的一面镜子，先调好它，将对进一步调试提供方便。

4）、检查手动动作及手动控制逻辑关系。完成了以上调试，继而可进行手动动作及手动控制逻辑关系调试。要查看各个手动控制的输出点，是否有相应的输出以及与输出对应的动作，然后再看，各个手动控制是否能够实现。如有问题，立即解决。

5）、半自动工作。如系统可自动工作，那先调半自动工作能否实现。调试时可一步步推进。直至完成整个控制周期。哪个步骤或环节出现问题，就着手解决哪个步骤或环节的问题。

6）、自动工作。在完成半自动调试后，可进一步调试自动工作。要多观察几个工作循环，以确保系统能正确无误地连续工作。

7）、模拟量调试、参数确定。以上调试的都是逻辑控制的项目。这是系统调试时，首先要调通的。这些调试基本完成后，可着手调试模拟量、脉冲量控制。**主要的是选定合适控制参数。一般讲，这个过程是比较长的。要耐心调，参数也要作多种选择，再从中选出**者。有的PLC，它的PID参数可通过自整定获得。但这个自整定过程，也是需要相当的时间才能完成的。

8）、异常条件检查,完成上述所有调试，整个调试基本也就完成了。但是好再进行一些异常条件检查。看看出现异常情况或一些难以避免的非法操作，是否会停机保护或是报警提示。5909 MKS PCB AS01496-AB I/O BOARD AMAT P/N:0190-30079 CDN496R

8521 APPLIED MATERIALS PCB 200MM SMIF INTERLOCK BOARD 0100-76280

10239 KLA-TENCOR TUNNEL,LOAD LOCK,ECP (755-01763-001) 0094733-000

12662 APPLIED MATERIALS WELDMENT, MANIFOLD NW-25 C 0050-42367

11628 PROTEUS FLUID FLOW SWITCH 9100SS24PK3

10366 APPLIED MATERIALS CLAMP FRAME CRT MOUNT 0020-09653

8738 HOKUYO OPTICAL TRANSMISSION DISTANCE DEVICE PARALLEL TYPE DMG-HB1-Z09

10877 APPLIED MATERIALS PMT-100 DETECTOR ASSY 0090-A0691

8731 GRANVILLE-PHILLIPS MICRO-ION PLUS 356034-YG-T

11445 APPLIED MATERIALS WELDMENT DIVERT 3 LIQ C-T-DB  0051-16896

20790 DELTA TAU DATA SYSTEMS PCB, UMAC POWER SUPPLY BOARD 603269-104

9267 PSE PCB MODULAR CONTROL BOARD SM**200B

8701 TOKYO ELECTRON PCB SAT-AO BB81-000003