介绍了电子束单晶熔炉的工作原理，对控制原理进行了分析，提出用西门子200系列的可编程程序控制器对电子束单晶熔炉进行逻辑控制。结合电子束单晶熔炉对控制系统的要求，分别对控制软件的作用和构成进行了详细的说明。控制系统运行表明：控制系统的软、硬件功能比较完善、工作可靠。[关键词]PLC；电子束单晶熔炉；控制系统电子束单晶熔炉是高能束技术在金属冶炼中的应用。主要工作原理是电子枪（阴极）通过加热发射的电子在高压静电场的加速下形成高能电子束，电子束通过聚焦后轰击要熔炼的金属，使高熔点金属熔化。电子束熔炼因熔炼金属纯度高、效率较高等优点而应用于金属冶炼领域，随着计算机技术及其它新技术的发展，加速了电子束熔炼在工业中的应用。15225 FUJIKIN 3-WAY VALVE, O.P 0.39~0.59 MPA, TYPE N.C 48023215223 FUJIKIN PNEUMATIC DIAPHRAGM VALVE, TYPE N.C, O.P 0.34~0.49MPA 47348219704 PITTMAN AMETEK DC SERVO MOTOR, 15.1 VDC, 9700-4494-