（1）打开冷却循环水阀门，启动压缩机、机械泵和预抽阀。（2）接通阴极电源和上下料旋转伺服电机。（3）接通高压电源和聚焦部分。（4）熔化料棒。（5）继续熔化下一根棒料，重复上面的（2）、（3）、（4）过程。（6）棒料熔炼完毕停止熔炼，停止熔炼的顺序和启动过程相反。整个过程可完全由人工操作，也可通过PLC自动完成。PLC自动完成启动循环水、压缩机、机械泵、抽真空等，使之达到正常熔炼所需要的条件，然后接通阴极电源和高压电源（采用PID控制），自动完成熔炼过程，停止熔炼的顺序与启动的顺序相反。熔炼过程中，如果联锁条件不满足或冷却水、炉内真空度及各种设备的状态有故障时，PLC自动报警，操作人员处理完毕复位后，PLC继续执行原程序。2 系统组成控制系统构成如图。上位计算机采用研华工控机，在操作系统Windows 2000下进行软件的设计和开发，实现对整个过程的监控和数据监测，可以随时存储数据，还可以随时打印采集到的数据。MCX13-0719767 APPLIED MATERIALS BRACKET 0020-A224113884 APPLIED MATERIALS WB AC COVER 0020