高压控制部分 高压控制部分由PLC模拟量输出模块、晶闸管触发电路、传感器、PLC模拟量输入模块等组成。PLC经过内部的PID运算后输出模拟信号直接给晶闸管触发电路来控制高压电源的输出，并实现高压的稳定和调节以及对高压电源的联锁控制。高压控制部分的主要功能有高压梯度上升和下降、料棒熔化过程中的高压保护、急停和故障显示等。（2）阴极控制部分 阴极控制部分由PLC模拟量输入和输出模块、晶闸管触发电路、传感器等组成。PLC经内部的PID运算后，输出模拟信号给阴极的晶闸管电路，控制阴极电流输出，实现阴极电流的稳定和调节，主要控制阴极电流梯度的上升和下降，熔化料棒过程中的急停、故障显示等。16104 APPLIED MATERIALS DEPOSI RING DEEPER GROOVE 200MM BE 0200-0115516133 APPLIED MATERIALS DISC,8SHUTTER SNNF CU LT BESC 0021-0633615512 APPLIED MATERIALS PLATE, FINGER LIFT RING, 200MM PRODUCER 0200-36649B