系统硬件构成框图3.2 变频器 本系统采用了较为先进的台达变频器进行调速，它调速方便可靠，且调速的精度高。为了适应这种工艺负载，需要在调速时使电动机输出恒定的转矩，应用V/F控制特性的变频器在基频应用V/F控制特性的变频器在基频(台达A型机的参数是Pr04)以下调速。本系统应用两台台达变频器，它们是主从的关系，即从变频器的频率的给定必须得跟随主变频器的给定频率的变化，且保证从变频器的频率输出略高于主变频器的频率输出10881 APPLIED MATERIALS DOOR SPD SLIT VALVE VITON PROCESS 300MM 0040-8439118954 APPLIED MATERIALS HDP MICROWAVE, 7 PIN SIGNAL CABLE, 55 FT 0150-0069920778 SANYO DENKI PCB, SERVO DRIVE POWER BOARD PRS-4286C9821 SMC 6 SLOT PNEUMATIC MANIFOLD VALVE (0081615401) US2765416210 COMDEL AUTOMATIC RF MATCHING NETWORK MATCHPRO, FP2312R3 CPMX-25009474 CTI-CRYOGENICS HELIX SPLITTER BOX 8112444G00112170 ROBOHAND DOUBLE WEDGE PNEUMATIC PARALLEL GRIPPER RP-11M-D15984 SEIKO SEIKI STP TURBOMOLECULAR PUMP CABLE, P035P, 0.6M P035Y001B031-3