该控制系统应用在一真空冷冻干燥设备中，PLC主要用于电机、电磁阀等的开与关控制；智能仪表用于控制温度；ICP一7033D等模块用于采集各点温度和压力；装有世纪星的上位机主要用于温度控制曲线的给定。PID控制参数的设置，温度和压力的实时数据、实时曲线、历史数据、历史曲线记录，并可以根据需要打印输出。4 运行结果　　本系统价格低廉，性价比高，且实用性较强，带RS-485通信接口的工控产品如变频器等均可以挂在此网**，由上位机监控。当上位机及网络连线出现故障时，下位机也能正常工作。经实际使用运行表明：此类系统功能完善、操作方便，可做到人机界面随各人的喜好、习惯调整且简捷清晰。运行可靠性高、抗干扰能力较强，完全能满足生产需要。Therma-Wave 18-011089Yaskawa Electric UGTMEM-03SB2 NSR-175G7AEdwards D37215000Animatics SM1702M-F2Nikon 4S008-052 B X4-AIS NSR-S205CNikon 4K554-905 NSR-S620DEntegris Semiconductor Fitting