两个低温系统采取配搭式螺杆机双级压缩。单机双级螺杆机大多是国外的产品，价格十分昂贵，而采用螺杆配搭式双级压缩可以以较低的投资，可以取得同样的效果。具有节省系统的运行费用、降低了压缩机的压缩比、容积效率提高的优点。本工程由于把-35℃、-30℃的高压级与-10℃系统合并为同一系统，比起其各自为独立的系统，可以大大减少压缩机组的使用台数，并使得压缩机组在部分负荷下的运行概率减低，增加系统的运行可靠性，并节约了能耗，节省了投资。中间冷却器使用了二次节流完全冷却方式。该方式在国内刚处于起步阶段，其优点是可以减少节流过程中的不可逆损失，减低了低压循环桶的供液温度（传统的一次节流中间冷却器盘管温度比中间温度高5－7℃，而二次节流完全冷却向低压循环桶的供液温度即为中间温度），从而提高了低压级的产冷量。二次节流的中间冷却器它除作低温系统的中冷外，还兼作-10℃系统的循环桶，附带了部分负荷，使单位功率的制冷量增大，系统运行费用降低，能取得更大的节能。由于没有了独立的中间冷却器，使制冷系统的管道简化了许多，也减少了初始的投资。Lam Research (LAM) 742-007760-001LAM RES