全厂除灰渣系统集中在电除尘控制室进行监控，为在系统调试和启动初期方便运行操作，设有以下几个辅助监控点：#1#2机组飞灰输送系统、#1#2机组渣水（含灰场供水系统）系统，在辅助监控点设有供启动调试用的操作员站。 本方案采用相对分散系统数据库网络与集中监控相结合，分水、煤、灰系统三个子系统进行相对集中监控。水、煤、灰每个子系统采用PLC直接控制方式，每个系统有自己的独立数据库服务器。在全厂外围控制中心的操作站通过各个子系统的服务器对辅助系统进行控制。 锅炉补给水、废水系统、净水系统、超滤反渗透、凝结水精处理系统分别采用冗余的PLC构成程控系统，然后通过以太网交换机构成水网。除灰系统和除渣系统分别采用冗余的PLC构成程控系统，然后通过以太网交换机构成灰渣网。Ultratech Stepper 03-20-01705-02Opal 70512527Edwards **1317000TEL Tokyo Electron CPC-T0060A-11KLA Instruments 710-650879-201VAO-4-TLAMAT Applied Materials 0100-91015ASML