控制系统采用PLC+PC的监控方式，设置一个中心控制室主站与四个现场分站，有的现场分站下还挂有控制子站。控制子站与现场分站之间通过DH485总线形式通讯，现场分站之间以及现场分站与中心控制室主站之间以ControlNet形式通讯，中心控制室内的各计算机则通过高速以太网通讯。现场设备的控制分为手动与自动两种控制方式：手动时PLC监测设备的运行状态；自动时，PLC监控设备的运行。在自动状态下，现场分站还具有本站与远控两种控制方式：当处于本站控制方式时，现场分站PLC可以监控设备的运行，而中心控制室只能监测设备的运行状态；当处于远程控制方式时，中心控制室可以监控设备的运行。AMAT 0720-90372 AMAT 0040-04144 AMAT 0620-02775 AMAT 0040-78051 AMAT 0190-15148 AMAT 0150-91373 AMAT 0150-91375 UNIT MFC, mass flow controller, UFC-1210A UNIT MFC, mass flow controller, UFC-15