​​系统方案与控制结构概述：AC800F系统是ABB集团推出的具世界**水平的全能综合型开放控制系统，融传统的DCS和PLC优点于一体，并支持多种国际现场总线标准。它既具备DCS的复杂模拟回路调节能力、友好的人机界面(HMI)及方便的工程软件，又同时具有与高档PLC指标相当的高速逻辑和顺序控制性能。系统既可连接常规I/O，又可连接Profibus、FF、CAN、Modbus、等各种现场总线设备。系统具备高度的灵活性和极好的扩展性，无论是小型生产装置的控制，还是超大规模的全厂一体化控制，甚至对于跨厂的管理控制应用，都能应付自如。该系统升级到V6.2后，系统容量可以达到无穷多点（超过100万个I/O），今后如果系统需要扩展，可直接在这个基础上增加I/O或现场总线仪表，利于今后的发展。ASM 16-184983-01Ultratech Stepper 04-15-01721Hine Design Right Wafer Indexer GaSonics Aura 2000-LLMKS Instruments AS00124-01TEL Tokyo Electron 3