ESD系统完成各工艺系统间及同一工艺系统的各级之间的的关断、隔离和动设备的停车控制，ESD关断逻辑设计为四级，**级为全厂关断并泄压，第二级为全厂关断，第三级为工艺系统关断，第四级为工艺系统单元或单个设备关断；关断信号由ESD因果逻辑CAUSE & EFFECT（C&E）产生，并触发相应的紧急切断阀(ESDV)、泻压阀(SBDV)完成工艺系统的关断，或者触发电机等动设备完成停车；关断源可为现场过程信号、现场火气信号、现场手动触发开关、控制室手动触发开关、操作员命令或逻辑连锁等；在PCS中，对不同类型的关断信号设开车旁路、维护旁路、和ESD信号禁止等逻辑；所有的关断阀和动设备的状态在PCS操作站上显示。ESD逻辑（C&E）采用功能块图（FBD）的模式编辑，经过编译后下载至控制器运行ASML 4022.471.6555TEL Tokyo Electron OYDK-062Aviza Technology 600053-01Sanyo Denki 103H7123-0440SMC US13394FEI Company 4035 272 26561Lam Researc