所示为两列同轴的两级压缩机的级联、负荷分配及进出口压力控制方案，两列压缩机可同时工作，也可单列工作，前后两级的入口压力变化与出口压力变化的比较结果控制压缩机的转速，保证压缩机的负荷平衡和平稳运行。 如图： ① 低压（一级）入口的压力由分程控制PIC-5131控制，其设定值由操作员设定。 ② PIC-5131的输出同为FIC-5134和FIC-5135的远方设定值。如果一列压缩机不运行，则该列信号不影响压力控制，压力控制由运行列完成。 ③ PIC-5131的参数应当在两列同时运行时整定，当为一列运行时，相应的控制响应将会较两列同时运行为慢，可确保控制效果的稳定。 ④ 高压（二级）入口的压力由分程控制PIC-5252控制，其设定值由操作员设定。 ⑤ PIC-5252的输出同为FIC-5255和FIC-5256的远方设定值。如果一列压缩机不运行，则该列信号不影响压力控制，压力控制由运行列完成。 ⑥ PIC-5252的参数应当在两列同时运行时整定，当为一列运行时，相应的控制响应将会较两列同时运行为慢，可确保控制效果的稳定。AMAT Applied Materials 0020-99050Nik