等离子发生器电源选用西门子公司的SIMOREG DC Master 6RA70系列全数字直流调速装置，配以大功率晶闸管三相全控桥式整流装置来得到大功率稳定的可调节的直流电源。具有以下特点：功率50~150KW连续可调；能通过自适应自动测量出输出回路的电阻和电感值，并自动调节电流调节器的增益和积分时间，以达到控制参数的**化；具有完善的通讯功能，支持USS串口通讯和Profibus现场总线通讯方式；具有简易便捷的参数设定及监控；具有完善的过压，欠压，过流等保护功能；通过其他功能模板可实现很多附加功能Applied Materials AMAT 0022-279810195-12740 / XP 102102-02AMAT Applied Materials part #0040-02073Applied Materials AMAT P400V-25W3A-X/9696, 1270-00112Applied Materials/AMAT 0020-958950100-02195320-0302// AMAT APPLIED 0190-2411634250312510000Applied