ABB DSDO110

更新时间: 2025-03-11

（1）初始化子程序 对本程序中要用到的寄存器、定时器和计数器清零，使设备处于初始状态。
（2）高压控制子程序 控制高压条件的连锁、高压的启动、高压数值的给定、高压上升和下降的PID参数的设定、高压故障报警和急停等。
（3）阴极控制子程序 控制阴极条件的连锁、阴极的启动、阴极电流的给定、阴极电流上升和下降的PID参数设定、阴极的故障报警和急停等。
（4）聚焦控制子程序 控制聚焦连锁、聚焦环位移，当达到**聚焦电流时停止移动。
（5）故障检测和报警子程序 完成对设备的检测，如有故障自动报警。
（6）主程序 当处于自动状态的时候，PLC按照工艺的工作顺序启动循环水、启动各种真空泵和阀门抽真空，当达到真空度要求时，自动接通阴极电源并且逐渐加大阴极电流，自动接通高压电源，逐渐加大高压电压达到高压的设定值，然后开始聚焦，当熔炼完毕后按照相反的顺序进行。3255 APPLIED MATERIALS KIT, ELEC, PER HTESC PVE CHAMBER, ENDURA 0242-766111896 PROTEUS INDUSTRIES INC FLUID FLOW SWITCH 9100SSSPPI12141 FESTO FLAT CYLINDER, P/N: 161243 DZF-18-125-A-P-A1904 PRO-FACE DIGITAL PRO-FACE GRAPHIC PANEL G**70-SC11-24V9417 APPLIED MATERIALS GUIDE CASSETTE UNIVERSALl MNL FEND 200MM 0021-0877423507 B&B ELECTRONICS PORT POWERED 4KV RS-232 OPTO ISOLATOR 232SPHI42058 NIKON WAFER LOADER WL-211103 APPLIED MATERIALS DRIVE HARD DISK 4.5GB 3.5" 0190-0040520138 RORZE 2P MICRO STEP DRIVER RD-029MS10095 APPLIED MATERIALS CABLE ASSY, RF GEN-RF MATCH INTFC 0150-2203711360 SANRITZ AUTOMATION SA COMPACTPCI, SC2410-3-S SC241012745 APPLIED MATERIALS SPLASH SHLD MOVABLE PLATEN SHIELD ASSY 300MM 0020-5299913413 VEXTA BRUSHLESS DC MOTOR DRIVER BLD1524-F14480 POWER AUTOMATION SINGLE PHASE ELEC MULTIFUNCTION IEC61036:200012063 MICROSCAN MINI HAWK FIXED BARCODE SCANNER FIS-6300-5005G256 THERMO ELECTRON ITT CERAMAX CERAMIC CHANNEL ELECTRON