DS3820LT4A.1C1A

更新时间: 2025-03-11

受控设备的状态选择：（由硬接线实现）每台参控设备都有“停止、就地、集控”三种状态供选择，由就地控制箱上的控制状态选择开关实现。

停止──设备停车，用集控系统或就地按钮均不能起动该设备；

就地──设备脱离集控系统控制，用就地按钮（或模拟盘按钮）控制开停车；

集控──集控系统控制开停车，就地按钮可以停车而不能开车；

   2、集控状态下的监控方式选择：（由软件实现）通过操作触摸屏界面选择设备监控方式。

   1）“程控”方式  选定程控方式后（包括起动风机、关闭风机、风机切换、反风切换、备有风机自动投入等），操作人员通过触摸屏上的风机启动按钮发出风机启动命令，系统按照设定的程序依次启动相关的设备，自动进行各种判断，完成风机的启动，整个过程无需人工参与。Lam Research 715-011912-083 

Chiba Precision TC-214008G 

B&R Automation 80VD100PD.C022-14 

Lenze E94S040S1N 

TEL Tokyo Electron 3D80-000252-V2

NSR-1755G7A 

GasTech 24-0131 H2 

Kernco G-1-1000 

TEL Tokyo Electron 5085-405392-12

Yaskawa SGMP-A8A3TA11

Verteq 1600-55A 

Nikon Ring Chuck 200mm NSR-S204B

LISTING?AMAT Applied Materials 0020-31536 

ASM Advanced Semiconductor Materials 03-320460D01

Vicor 20-011101