3BHB022793R0001

更新时间: 2025-03-11

• 针对拟建的NBI综合测试平台,设计了真空测量与控制系统,介绍了系统的结构及功能。根据系统要求及操作规范,以PLC作为控制核心,梯形图作为编程语言,触摸屏作为人机界面,组建了完整的控制系统,以实现自动运行。上位机的组态软件通过RS485总线通讯实现真空系统的自动控制以及真空度的在线实时监测与显示。该控制方案具有硬件简单可靠、组态灵活、软件运行稳定的特点,能够满足NBI对辅助抽气系统的真空测量与控制的要求。

中性束注入(NBI)是加热核聚变装置等离子体的一种辅助方法[1]。由于其具有加热原理简单、技术理论成熟、注入功率高等优点,是世界各大聚变装置广泛采用的加热手段[2~3]。NBI综合测试平台辅助抽气系统担负着为离子源起弧调试提供基本的真空环境的任务,此外还须为离子源提供独立Dynax DNX2090 

Hamamatsu S9037-0902N 

TEL Tokyo Electron P-8 Camera Module Sony XC-75

ASTeX FI20113-1

PTI Progressive Technologies 4301G01 

Fujikin FUNSDL-21GT-6.35UGC#A

TEL Tokyo Electron APC-T0047A-11 

Semitool 04MBU003

VAT 641PM-16PM-0002

Novellus Systems 03-164888-00 

AMAT Applied Materials 0090-90967

AMAT Applied Materials 0010-27512 

CADK00360 

Granville-Phillips 275801 

Nikon 4S020-104-1

I-900SRT 

AMAT Applied Materials 9090-00273 

Advance Electric SAV-3260-131TiZ 

Genmark Automation 910500012

Nikon WLT31 NSR-S204B

Micropump WE5002/ICS

STEC SV-P1203