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更新时间: 2024-05-14
利用工控机( IIC) 和PLC 研制成了新型多弧离子镀膜机自动控制系统,该控制系统可以实现镀膜工艺过程的自动 控制。工控机设定技术参数后进入监控状态,实时监测控制PLC 的工作状态; PLC 控制现场设备的运行,并将现场各泵阀等 设备的工作状态传给工控机。系统可靠性高,人机交互好,实现了多弧离子镀膜的自动控制。为了有效地抑制网络延时对网络控制系统性能的影响，提出了一种鲁棒数字比例一积分一微分(PID)控制器 设计方法．该方法将分布式的网络延时归结为单一延时；在大时变鲁棒数字PID控制方法的基础上，结合二自由度 的内模控制结构，实现了控制器参数的数字双PID分离设计．对基于控制局域网络(CAN)总线的典型工业过程进行 了仿真实验．结果表明，与最小化模型方法设计的控制器比较，采用设计的PID控制器能补偿网络上的延时，更加有 效地抑制负载干扰并提高了系统的动态特性．SRW-100-1008ASML 4022.471.7683CRS-3000UFC-1660Thermo Noran 700P135927AceCo S33-96062034-KA18-1005 26334-KA11-1001H
