黑马F6705

更新时间: 2024-05-23

控制要求 (1) 实现出灰的过程自动化，为便于操作调整及应急处理，应能随时切换到手动控制状态; (2) 当操作室内的“远程/就地”开关打到“就地”位置时，自动停止出灰; (3) 仓泵的进料重量和进料时间双重控制，进料重量或进料时间任意一个达到要求都作为仓泵料满对待; (4)同一出灰管**只能有一个仓泵出灰，一电场用一根出灰管，先满足出灰条件的优先出灰，二、三电场共用一根出灰管，先满足出灰条件的优先出灰; (5) 当发生灰管堵塞后(灰管压力大于550KPa)，报警指示灯发出声光报警，直至灰管堵塞故障排除; (6) 当来气母管压力小于400KPa时，系统自动停止运行19559 LAM RESEARCH BAFFLE PLATE 8'''' 715-011913-086-C15188 APPLIED MATERIALS MTR ENCODER ASSY ROBOT EXTENSION 0090-029533389 ASYST FRONT WAFER LOADER CASSETTE NEST PT 2080146 LAM RESEARCH PCB CONNECTION CARD 810-17061-112852 NOVELLUS SYSTEM CONTROLLER, P166/64, 24V 02-127707-009570 OMRON PA203 PROGRAMMABLE CONTROLLER CPU43 W/ OCH, OC222, IPS01, SYSMAC CQM110957 COSEL POWER SUPPLY BOARD LEB150F-0512 G14798 APPLIED MATERIALS COVER SENSOR WBLL 0020-13977