IMDSO14贝利

更新时间: 2025-03-11

现场控制站由主控模块、智能输入／输出模件、电源模件和专用机柜组成，系统由UPS实现双路供电，主控模块、电源模件、模出模件全部采用双冗余配置，有模件在线自诊断功能，诊断结果可由操作员站或工程师站的系统画面显示。在主控模块、智能输入／输出模件上分别固化实时控制软件和智能输入／输出处理软件。每个控制站机柜附带一个端子柜，便于信号电缆接线。实时控制软件运行在一个嵌入式多任务处理系统中，完成信号转换与处理、控制运算（石热项目控制运算周期MCS和SCS为250 ms，DAS为1 s，DEH为100ms）、通信、自诊断、双主控模块切换时保持数据一致等功能。智能输入／输出处理软件完成采样、滤波、模／数转换、小信号非线性补偿、冷端补偿、工程单位换算、过程点质量判断等功能。 　　操作员站和工程师站由高可靠工业微机配以外设组成（石热项目采用研华工业控制微机）Ultratech Stepper 03-15-02305APTech AP1006SM 3PW FV4 CRS-1010SAsyst Technologies 3200-1112-01 Oram 17000331 Opal 70313570100DE0AMAT Applied Materials 0100-09134 HP Hewlett-Packard 10780C MicroProbe PCIN62MPAPTech AP1006S TT1ENR2-1-TVS-ES-BROOKS6TEL Tokyo Electron WZ10-102397-11 X1Nikon 4S013-482 Edwards B65354000 Sanken Electric MLT-DCB0X5 TEL Tokyo Electron 2981-600619-11Rectus 21KBAW13RVXSCP Santa Clara Plastics 1075792.1SMC 2TP-4A231AMAT Applied Materials 0100-00569 Inficon 927-201-G1HFG 2500 AE Advanced Energy 3155072-000B AMAT Applied Materials 0020-31536TEL Tokyo Electron 3D86-000393-V3Inficon 362-003Horiba STEC SEC-7340BM Ultrapointe 001002T UFC-8165ASM 2841436-01 Applied Motion 354?MOModus Instruments DA-4-05M-0-RR-15-114