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更新时间: 2025-03-11

与此同时, 计算机控制也逐渐代替了人工控制, 产生了过程监控和数据采集系统( Supervisory Control and Data Acquisition ,SCADA) 。随后SCADA、ERP 和MES 相互渗透。由于制造执行系统（MES）能把企业有关产品的质量、产量、成本等相关的综合生产指标目标值转化为制造过程的作业计划、作业标准和工艺标准, 从而产生合适的控制指令和生产指令, 驱动设备控制系统使生产线在正确的时间完成正确的动作, 生产出合格的产品, 从而也使实际的生产指标处于综合生产指标的目标值范围内。1995年美日、西欧等国已有100多家炼油、化工企业在实施了计算机集成制造系统CIMS）计划，推动了流程工业综合自动化系统在实际生产中的应用，并经过实际应用的考验，已逐步形成合理的体系结构即为ERP/MES/PCS三层结构。其中将位于计划层和控制层中间位置的执行层叫做MES，MES作为生产执行系统与上层ERP等业务系统和底层DCS等生产设备控制系统一起构成企业的神经系统，它把业务计划的指令传达到生产现场；将生产现场的信息及时收集、上传和处理。MES不单是面向生产现场的系统，而是作为上、下两个层次之间双方信息的传递系统，是连结现场层和经营层，改善生产经营效益的前沿系统。CFM Technologies 22024-02 Omron EE-SX770A PRI Automation BM18251Irvine Optical 015-0851-01Kniel 301-069-04.03 CFM Technologies 22024-024085X Horiba STEC SEF-8240SM-UCKomatsu BAMA01140 MKS Instruments 722A12TCD2FA Air Products CRSD 1537 Air Products CRSD1538 Muratec HASSYC810301 Intraplex 9547-1827-1FEI Company 4035 272 26561Nikon DD-T98030CYaskawa Electric JAMMC-SRC01I SMC VV5Q11-08-DAJ00899RECIF Technologies INTAH0251853-704360-001-E3 Veriflo 45300853 Leybold 88772Nikon 1-642-950-13 Nikon 4S080-627 LC-PRES2BUltratech Stepper 03-20-02294-02 Semitool 220T0007-501AMAT Applied Materials 0100-35180 TEL Tokyo Electron 1D81-000114 PANASONIC MSM021A1E A.G. Heinze RN814-0941-2 Nikon Scope NWL860