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更新时间: 2025-03-11

应当指出，直接参数或间接参数的选择并不是**的，更不是随意的，要通过对过程特性进行深入分析，才能做出的正确选择。 下面是选取被控参数的一般原则，希望对读者有所帮助： 1、 选择对产品的产、质量、安全生产、经济动作和环境保护具有决定性作用的、可直接测量的工艺参数作为被控参数。 2、 当不能用直接参数作为被控参数时，应该选择一个与直接参数有线性单值函数对应关系的间接参数作为被控参数。 3、 被控参数必须具有足够高的灵敏度。 4、 被控参数的选取，必须考虑工艺过程的合理性和所用仪表的性能。 三、PID算法 在过程控制中，PID控制器，一直是应用**为广泛的一种自动控制器；PID控制也一直是众多控制方法中应用**为普遍的控制算法，PID算法的计算过程与输出值(OUT)有着直接函数关系，因此想进一步了解PID控制器，必须首先熟悉PID算法，这也是笔者为什么在下面的内容里大费周章讨论这个问题的原因所在。 PID控制器调节输出，是为了保证偏差值(e值)为零，使系统达到一个预期稳定状态。这里的偏差(e)是给定值(SP)和过程变量值(PV)的差。TDK-Lambda PWB-655H TEL Tokyo Electron EC81-000016-11 PCB Card TEB102-1/NASSRECIF Technologies INTAH0281A TDK 3EA00B172 Thermalogic PCB 718-525AMAT Applied Materials 0190-07679 Pureron DFM2-1000 VAT 65040-PA52-ACB2 VAT 650 Hitachi EC2 REX-F7TAZMO E0R05-2661 Ultratech Stepper 03-20-02114ASM Advanced Semiconductor Materials 02-323392D01SCP Santa Clara Plastics 1075792.1Edwards B65354000 Lenze E94S040S1N ISO63 ISO-F to NW50 NW25 Yaskawa Electric XU-RCM5010Nikon MH-15M-CCB SVG Silicon Valley Group 859-8369-008KLA Instruments 710-658268-20 AMAT Applied Materials 0040-80145DISCO EAUA UA-266105 D3Yaskawa Electric BC930310Anelva H11-10811Cole-Parmer 7553-30Semitol 14831A-1YN AMAT Applied Materials 0020-31536Microbar Systems 11-0123-00 Semitool 14831A-1Hitachi 560-5544HP Hewlett-Packard 10780C IEE 03601-82 Hitachi MTIF01 #2201Verteq 1071649-1R