霍尼韦尔TC-PPD011

更新时间: 2025-03-11

ESD系统完成各工艺系统间及同一工艺系统的各级之间的的关断、隔离和动设备的停车控制，ESD关断逻辑设计为四级，**级为全厂关断并泄压，第二级为全厂关断，第三级为工艺系统关断，第四级为工艺系统单元或单个设备关断；关断信号由ESD因果逻辑CAUSE & EFFECT（C&E）产生，并触发相应的紧急切断阀(ESDV)、泻压阀(SBDV)完成工艺系统的关断，或者触发电机等动设备完成停车；关断源可为现场过程信号、现场火气信号、现场手动触发开关、控制室手动触发开关、操作员命令或逻辑连锁等；在PCS中，对不同类型的关断信号设开车旁路、维护旁路、和ESD信号禁止等逻辑；所有的关断阀和动设备的状态在PCS操作站上显示Cosel SPS-001GGB Industries 10-XK Yaskawa Electric XU-RCM5010Kondoh Kohsya MA3-PCB(KG) Kokusai 3160711Novellus 03-108656-00 C3Hitachi MCCB51 ELB Unit M-511EAMAT Applied 810-06361R Lambda PDC60-300 AMAT Applied Materials 0200-35843SMC ZSE30-01-65-M Advantest BGD-022241 TEL Tokyo Electron 5087-403471-16Brooks Instrument 5896B11A Millipore WCDP025L1Panasonic MSM042A5FYaskawa Electric SGDH-04AEY904 TEL Tokyo Electron PPC-T0006A-11 ASML 859-0741-004E Advantest A021105B AMAT Applied Materials 0020-47722 Oriental Motor A6802-044Shinko Electric 3ASSYC805000 Eastern Air Devices LA23GCKC-2A1SVG Silicon Valley Group 859-0866-004Sti 43268-0160SVG Silicon Valley Group 851-9953-003 FEI Company 4022 268 00588Daifuku PS2681-02 DIP EH0107(C) DB-D38-101D AMAT Applied Materials 0021-20718SST-4/8P AMAT Applied Materials 9090-00273 UFC-8564 200cc PH3 AMAT 3030-10543