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更新时间: 2024-05-19
聚焦控制部分 聚焦控制部分控制电子束的准确度，在电子束发射电子数目一定的情况下，让尽量多的电子轰击到料棒上，提高电子的利用率。它主要通过上下移动聚焦环来获得**的位置，同时还保证与其它控制部分的联锁。（4）真空及阀门控制部分 真空及阀门控制部分保证设备具有正常的真空工作环境，主要由各种真空泵、阀门等组成。PLC对真空系统的控制分手动和自动两种功能，手动时各种泵和阀门的开启完全由人工控制；自动时，PLC根据程序要求自动完成对设备的抽真空任务，判断泵、阀门、真空度状态的和联锁条件是否满足等。19207 APPLIED MATERIALS BEARING ASSY ID: 22.57CM X X3270912785 APPLIED MATERIALS ASSY, OTF RECEIVER, 200MM BANK 0010-7676421244 NOVELLUS HOUSING,BRG,DP SPNDL,CVDW 15-109785-004998 APPLIED MATERIALS INSERT, PEDESTAL LIFT, PIB 0021-2588112141 FESTO FLAT CY
