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更新时间: 2025-03-11
首先通过上位机选择运行路径，系统自动检 查所有选择的运行路径是否正确，路径设备是否已准备 好（无故障，有电源等），若检查无误，上位机指示“程 选有效”后，操作人员即可通过键盘发出“预启”命令, 系统自动完成预启工作。若20妙内预启成功，则CRT显 示“允许启动”。操作人员确认后系统便自动按顺序 起动现场所有相关设备。
若检查运行路径出错，或路径设备未准备好，上位机指示“路径选择出错”，提示操作人员重新选择设备或排除故障。 在运行中，当任一台设备发生重大事故，如拉绳、持续2秒以上的重跑偏、 重打滑和堵煤等，立即联跳逆煤流 方向的设备。当按“紧急停机”时，运行设备立即全线停机。
（2） 手动方式：
手动方式有两种，一种是联锁手动，另一种是解锁手 动。两种方式都在上位机上通过鼠标操作。
联锁手动是运行人员按照逆煤流方向一对一的启动设 备，按顺煤流方向一对一地停机，流程内设备存在联锁 关系，所以手动停任一台正在运行的设备，逆煤流方向 的所有设备联锁停机。可防止堵煤等事故的发生。novellus 15-00558-01Kla-Tencor, Piezo Voltage Controller, 720-00001-000STP-H1000 SCU-H1000L Gas Box Motherboard, Lam Research 810-017074-003Convectron Tube Interface Board, Lam 810-17007-001, 017007 853-017620 Eto HF-Generator Controller, ABX-X355 Kla-Tencor, S1-Objektiv Steuerung 720-09841-001 ASML Energie Sensor 4022-455-8282Therma-Wave 5241 X-Y-Z Phase Newport Twi 45-021480KSI Kaise System inc.s1-1-100031-0031583156024-105C AE 325-37515-110411-00Kla 52-0375lp2000-400k
