3BSE018172R1

更新时间: 2025-03-11

条的质量取决于两点：一是主、辅牵伸电机以及条筒电机三者的同步性，另一点即是三者之间合理的速度比。三者之间的合理的速度比通过后述的控制策略获得。而三者的同步性依赖于硬件的快速响应和软件的合理性，硬件的特点在前面已述。

　　对于并条机而言，开环控制可以消除死区，但是对来自牵伸系统干扰的影响无能为力，系统的稳定性较弱；闭环控制可以抑制干扰的影响，系统有着较强的鲁棒性，但不能消除死区。

　　并条机的控制过程是一个非线性，动态变化的过程，容易受到外部干扰(牵伸波，噪声等)，很难建立统一的数学、物理模型。因此，为了消除死区，降低干扰的影响，提高系统稳定性，本文采用短开环和长闭环的混合控制模式，如图6所示。

　　开环的目的是避免死区并获得控制基本量uo，闭环的目的是抑制干扰，得到控制校正量△uc修正控制基本量uoTylan FC-2952 

COSMOS PS-2DPNS

MRC Materials Research A115105 

ChemTec MAO-125-T-20 

DIE01294A KBCPU9/A1 

AMAT Applied Materials 0190-02748 

14-15-05800 4700 

MKS Instruments 100016886

Hitachi 3-833717

TEL Tokyo Electron AP9Z-2033A

Swagelok 6LV-DAFR4-P-BL-6820

TEL Tokyo Electron TKB7250 

Lam Research 810-17012-001 

ACT12 

Tylan FC-2952

Swagelok 6LV-DAFR4-P-BL-6820 

TEL Tokyo Electron D122081 

JAE 4400-1100

TEL Tokyo Electron AP9Z-2033A

TEL Tokyo Electron TKB7250

Tylan General FC-2902M 

AMAT Applied Materials 0021-20788

Aviza Technology 166759-002