更新时间: 2025-03-11
所示为两列同轴的两级压缩机的级联、负荷分配及进出口压力控制方案,两列压缩机可同时工作,也可单列工作,前后两级的入口压力变化与出口压力变化的比较结果控制压缩机的转速,保证压缩机的负荷平衡和平稳运行。 如图: ① 低压(一级)入口的压力由分程控制PIC-5131控制,其设定值由操作员设定。 ② PIC-5131的输出同为FIC-5134和FIC-5135的远方设定值。如果一列压缩机不运行,则该列信号不影响压力控制,压力控制由运行列完成。 ③ PIC-5131的参数应当在两列同时运行时整定,当为一列运行时,相应的控制响应将会较两列同时运行为慢,可确保控制效果的稳定。 ④ 高压(二级)入口的压力由分程控制PIC-5252控制,其设定值由操作员设定。 ⑤ PIC-5252的输出同为FIC-5255和FIC-5256的远方设定值。如果一列压缩机不运行,则该列信号不影响压力控制,压力控制由运行列完成。 ⑥ PIC-5252的参数应当在两列同时运行时整定,当为一列运行时,相应的控制响应将会较两列同时运行为慢,可确保控制效果的稳定。AMAT Applied Materials 0020-99050Nikon 4S007-149 Processor Board PCB BCODE NSR-1755G7A RECIF Technologies CPUAH0027A CPU Board REC0027ANemic-Lambda EWS100-5VAT 62132-KA28-AAH1 NB-GL-8C-200-XLambda LRS 52M-5AMAT Applied Materials 810-06361RLPC-T0007A-11RECIF Technologies MOBJH0131DASM Advanced Semiconductor Materials 73055-72435 Fostec 80952 8Tokyo Keiso FCA-7100 Hamamatsu S9037-0902N RECIF Technologies MOBBH0131D Shinko Electric SCE93-100010-C1Fostec 80952 8Fanuc A20B-1006-0490/02ATokyo Keiso FCA-7100 STEC SEC-7330MHamamatsu S9037-0902N C1915a E22a Millipore W2501KP01 RECIF Technologies MOBBH0131D Shinko Electric SCE93-100010-C1Kniel 301-069-04.03Lam Research 810-800082-029 MU-712E AMAT Applied Materials 0020-24804 SMC US5200 XP Power 003-101300-01-03 XL-1003 Gateway E-4200SBS cPCI-100-BP SVG Silicon Valley Group 99-803-336-01Power-One BD65124B Ultratech Stepper 03-15-00302
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