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更新时间：2024-06-19
描述：
压阻流量传感器当受到外部应变或应力影响时，显示出电阻率变化的元素被称为压阻材料。由于施加的应变，材料的内部晶格和原子位置发生了变化，因此其电阻率也发生了变化。制造商广泛使用压阻材料来开发MEMS流量传感器。由于它们在施加应力时能够改变阻力，因此它们在流量感测中获得了关注。当用于MEMS流量传感器时，电阻变化会映射到电压信号，该电压信号会随着流速的变化而波动。MEMS热流传感器使用热传递强度来测量流速的流量传感器被称为热流量传感器。这种现象可确保在输出信号漂移较小的情况下获得更高的精度和灵敏度。此外，这种传感器的好处在于，它们无需物理移动任何微型零件即可工作。MEMS热流传感器通常由两个主要组件组成：传感和加热元件。工作流与加热器之间的传热差由感应元件感应，因此，系统的灵敏度会随着多余的热能传递到工作流体而增加。影响标准基于温度的流量传感器精度的主要限制因素之一往往是正确保留传感组件的温度。无法计算低流速是与MEMS热流传感器有关的另一个问题。常规热膜传感器和热线传感器中的传感组件具有较大的比热容，这使得很难跟踪低对流传热，从而导致低频或不良的频率响应。根据各种热管理方法和不同的评估方法
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