步进电动机可编程序控制器选用0MRON公司C系列的CPMlA，脉冲分配器功能直接由可编程序控制器编程软件来实现，功率驱动器采用高低压切换型功率驱动电路。这种驱动电源不论电动机的工作频率如何，均利用短时间的高电压供电以提高导通相绕组电流前沿的陡度和高度。过了一个短时间，关断高电压，只用低电压来维持一定的电流。这样就可改善系统的高频性能，使电动机在高频段也有较大的输出转矩，而在静止锁定时的功耗则比较小。PLC 控制系统设计的基本要求是保证系统运行的安全、可靠,不仅要考虑设备的正常运行情况，更要考虑当设备的机械、电器部件发生故障，以及出现人员误操作、误动作等情况下的紧急处理。因此，在PLC 控制系统设计时，安全电路的设计相当重要。CKD N4S0-T30R Oram 17000330SBS Technologies MC303-S00026Vickers Instruments PER8BOOC MRC Materials Research 884-53-000Unit Instruments UFC-8165 Granville-Phillips 275801 MRC Materials Research 883-90-000 TEL Tokyo Electron EC81-000016-11 Lam Research 810-17016-001 AMAT Applied Materials 0021-17725TEL Tokyo Electron HA-026 ASM 16-143347-01 Dynax DNX2090 Nikon 4K177-955-4 XC-75 HF35A-2M1 Lam Research 810-17016-1 54-106618A48Tescom 33-1C52IGS2C-009Hitachi 568-5566Nikon 9700-6101-01CTI-Cryogenics 8039348 Nikon 4S007-946Unit Instruments UFC-8565