可编程序控制器的步进电机控制系统设计，给出了可编程序控制器控制步进电机电气控制系统的硬件组成和软件设计，包括可编程序控制器输人／输出接线图、梯形图程序设计和步进电机的驱动电路；详细说明了用BCD码拨盘开关控制步进电机步数和速度的方法及可编程序控制器编程软件实现脉冲分配器功能的方法均利用短时间的高电压供电以提高导通相绕组电流前沿的陡度和高度。过了一个短时间，关断高电压，只用低电压来维持一定的电流。这样就可改善系统的高频性能，使电动机在高频段也有较大的输出转矩，而在静止锁定时的功耗则比较小。Yamatake DMC50CS40000M003 AMAT Applied Materials 0100-90025Lam Research 810-025369-002Ultratech Stepper 03-15-00308-02LG G4L-CUEA VAT 14046-PE44-AAL1 Asyst Shinko HASSYC810300 Lam Research 715-028289-001AMAT Applied Materials 0021-78097ASM 03-188871D01 KF16 Lam Research 853-707092-002 Lam Research 853-017435-001-A-1996Miki Pulley BXH-12-10-A-20Nikon 4S008-056CFM Technologies 22024-02Dynax DNX5171AMAT Applied Materials 0020-39500 Hitachi EMI Noise Filter Chassis S-9380ENENSYS NN6-1161RF-F A2688VEF22