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更新时间: 2025-03-11
高压控制部分 高压控制部分由PLC模拟量输出模块、晶闸管触发电路、传感器、PLC模拟量输入模块等组成。PLC经过内部的PID运算后输出模拟信号直接给晶闸管触发电路来控制高压电源的输出，并实现高压的稳定和调节以及对高压电源的联锁控制。高压控制部分的主要功能有高压梯度上升和下降、料棒熔化过程中的高压保护、急停和故障显示等。
（2）阴极控制部分 阴极控制部分由PLC模拟量输入和输出模块、晶闸管触发电路、传感器等组成。PLC经内部的PID运算后，输出模拟信号给阴极的晶闸管电路，控制阴极电流输出，实现阴极电流的稳定和调节，主要控制阴极电流梯度的上升和下降，熔化料棒过程中的急停、故障显示等。16421 APPLIED MATERIALS WELDMENT LOWER NF3 ASTRON I XHDR TEOS 0051-2839318846 EQUIPE TECHNOLOGIES PCB, IBUS, 103-00192-00, 103-00082-00 103-00080-01695 INTERAPID DIAL INDICATOR 312B-2022756 AGILENT PCB, TESTHEAD POWER INPUT BOARD E3120-6654412011 OMRON ZUV SERIES UV-LED IRRADIATOR CONTROLLER W/ AC ADAPTOR ZUV-C30H912 DRESSLER RF LC AUTO MATCHING NETWORK VM1500W-CG14760 APPLIED MATERIALS 5200 CVD WC WXZ GAS BOX, 0020-30511 0240-1420315435 MAXON MTR DC MTR W/
