P+F KFD2-VR4-EX1.26

更新时间: 2025-03-11

电子束单晶熔炉主要由真空系统、高压电源、阴极电源、聚焦部分、上下料进给机构及旋转机构、冷却系统、炉体、电子枪、操作台和其它的辅助电源等组成。真空系统为电子枪和聚焦设备提供真空工作环境，主要由机械泵、真空泵、各种阀门和真空测量仪器（规管）组成。高压电源为电子枪发射出的电子提供加速电压，高压通过三相不可控整流器获得，**电压可达25kV，高压直流电源内阻小、稳定工作时输出纹波系数小、具有软起动及保护功能。阴极电源通过加热电子枪（阴极）使之能够发射足够多的电子4101 ENDRESS+HAUSER LIQUISYS-P CPM220-21AA0219662 APPLIED MATERIALS CABLE ASSY TC CHMBR TRAY I/F 0150-2064112230 TELEDYNE THERMOCOUPLE VACUUM GAUGE TUBE, ?" VCR, 0-1000 MTORR DV-6 11113 APPLIED MATERIALS HOOP, LIFT 8" PVD SHUTTER CHAMBER 0040-2025715775 VERIFLO PRESSURE REGULATOR , 45400892 SQMICRO302PFSMM22053 SANYO DENKI STEPPING MOTOR 103H5510-70E18881 TOKYO ELECTRON ESC ELECTROSTATIC CHUCK (N1410200103) AN1410038755 TOKYO ELECTRON ESC ELECTROSTATIC CHUCK (N1410200105) AN141005