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更新时间: 2024-05-19
控制要求 (1) 实现出灰的过程自动化，为便于操作调整及应急处理，应能随时切换到手动控制状态; (2) 当操作室内的“远程/就地”开关打到“就地”位置时，自动停止出灰; (3) 仓泵的进料重量和进料时间双重控制，进料重量或进料时间任意一个达到要求都作为仓泵料满对待; (4)同一出灰管**只能有一个仓泵出灰，一电场用一根出灰管，先满足出灰条件的优先出灰，二、三电场共用一根出灰管，先满足出灰条件的优先出灰; (5) 当发生灰管堵塞后(灰管压力大于550KPa)，报警指示灯发出声光报警，直至灰管堵塞故障排除; (6) 当来气母管压力小于400KPa时，系统自动停止运行。SENSOR GD-A8V-36 GD-A8V-36-PF9041 APPLIED MATERIALS 300MM ETCH 1 ULTIMA LOAD LOCK BELLOW 0040-8564318553 SONY VIDEO GRAPHIC PRINTER UP-897MD8560 SCHNEIDER POWERLOGIC POWER METER PM100021231 NIKON MAGNIFY LENS ASSY A
