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更新时间：2024-06-19
描述：
MEMS压电流量传感器某些人造和天然介电材料具有压电特性，这使得它们在施加机械负载时能够产生电荷。这也称为直接压电效应。另一方面，如果这些材料暴露于外部电场，则会影响尺寸或几何形状的变化。该效应称为逆压电效应。在聚偏二氟乙烯（PVDF）等聚合物和包括钛酸钡（BaTIO3）或锆钛酸铅（PZT）。MEMS压电流量传感器是自动的，因此不需要外部电源即可实现传感器输出信号。此外，它们主要由聚偏二氟乙烯（PVDF）和锆钛酸铅（PZT）材料组成。应用领域MEMS流量传感器具有多种用途，例如感测环境流量，工业气体流量监控，生物医学应用中的流量感测和海洋流体动力感测。MEMS流量传感器的紧凑尺寸，高灵敏度，低价格和批量生产功能使其在商业和工业应用中极具吸引力。此外，一些MEMS软聚合物传感器具有生物相容性，为临床和生物医学应用的销售打开了大门。MEMS流量传感器在呼吸机，雾化器，氧气系统和睡眠呼吸暂停诊断仪器等领域对治疗性呼吸流量传感任务的需求日益增长。具有集成MEMS流量传感器的可穿戴式呼吸监测器能够跟踪流量和流速。它们普遍用于监视运动员的表现和恢复情况。此外，在静脉输注中的流速跟踪中，MEMS传感
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